镀膜过程中速率不稳定

WENJINGREN

大家好，镀膜前检查晶振片没有问题，检查晶振探头也都正常，但在镀膜过程中速率不稳定，变化很大，药品是提前预熔好的。请问可能是什么原因。谢谢。

MorningTech

如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意维护了。原因不少，坛子里也有帖子谈到这些问题。参考一下。
探头检查要有经验。
x10的振荡包出问题也是常事。

上海膜林科技有限公司， 专业研制晶控仪厂商。

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-5-23 14:59
如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意 ...

您好！能指教正确的检查方法，我们现在只能从外观及导通性上判断。谢谢

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-5-23 14:59
如果功率相对稳定，速率连续慢变，虽然变化范围比较大，调节PID参数一般可行。
如果速率上下乱跳，当注意 ...

是速率上下乱跳，换晶振片后会改善，但同一批的晶振片在其它设备中使用没有这种现象。如果需要做维护，应该怎样维护呢，请赐教。谢谢。

MorningTech

探头通断用万用表可以量出来，判断导线问题不大，但晶振片的接触情况是量不出来的。比如说，弹片软了。
同时注意探头内部清洁和弹片弹力。
还有振荡包问题也会导致速率不稳。
离子源干扰等。

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-5-23 19:42
探头通断用万用表可以量出来，判断导线问题不大，但晶振片的接触情况是量不出来的。比如说，弹片软了。
同 ...

谢谢指教，晶振片陶瓷座我们已经换新的了，探头内部清洁和弹片弹力考虑到，也作了清洁，弹片的弹力有点不够，我在从振荡包和内部弹片上检查一下，非常感谢您。

wazxq

晶振片本身不好的可能性更大

WENJINGREN

wazxq 发表于 2016-5-28 19:42
晶振片本身不好的可能性更大

但是同一个晶振片换到另一台机使用是正常的，所以一直考虑是这台机晶控有问题

MorningTech

WENJINGREN 发表于 2016-5-31 10:48
但是同一个晶振片换到另一台机使用是正常的，所以一直考虑是这台机晶控有问题

如果持续只这台机器有问题，晶振片问题的可能性不大。
晶控系统自身有瑕疵， 或者有干扰，特别是后者，每台机器都不一样。

敝司晶控仪刚出来时，也曾被干扰搞得头大。2年前改进后，抗干扰能力有了大幅提升，比所见过其它品牌的都要强。
某地更换有强干扰的3x0机台的成功经验，更让我们自信满满，再未出现过突发失效(晶振片好时)，死机等情况。
虽然过程比较涩，但每次出手都能改进，痛快！

4年多来，敝司晶控仪从未有过数据丢失现象。

当然，强烈的电干扰还是很让人纠结，特别是离子源的中和不好时，甚至看到过晶振片表面有放电痕迹。
晶振片自身被放电打坏，晶控系统就无能为力了。

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-5-31 19:35
如果持续只这台机器有问题，晶振片问题的可能性不大。
晶控系统自身有瑕疵， 或者有干扰，特别是后者， ...

还想请教晶控冷却水温度控制在多少比较合适，我们这台机开门清洁时，时间长点会有冷凝水出现。

WENJINGREN

MorningTech 发表于 2016-6-1 17:43
晶振探头水冷温度 20-30度都可以用。
温度略高一点，对不凝水汽和成膜稳定性都有好处。
从重复性看，有条 ...

我们目前水温控制在20度以下，是整体冷却系统，水温有点低。承蒙指导，非常感谢。

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