UVC波段鍍AR coating

zmiin · 发表于 2004-12-29 21:33:00

各位前輩好,有一問題想跟各位請教~

我想在Quartz鍍上310~800nm的增透膜,聽說可以利用ZrO2+SiO2可以做到,這樣的做法是正確的嗎?ZrO2在蒸鍍上需要注意什麼?設計膜層又該如何比較理想呢?

各位前輩有這方面的經驗或者有更好的方式嗎?請指教,謝謝~

zmiin · 发表于 2005-1-12 18:32:00

啊~~~沒有人會嗎?

guangang · 发表于 2005-1-13 17:57:00

我覺得用Ta2O5和SiO2更好一些！

guangang · 发表于 2005-1-13 18:08:00

看錯了，Ta2O5在350有吸收，ZrO2+SiO2可以做搭配，但是注意控制ZrO2的折射率變化，ZrO2是折射率負變；最好做非規整膜系，估計需要7層或更多層；另外機器的穩定性也很關鍵。

cjyzq · 发表于 2005-1-16 06:41:00

想在Quartz鍍上310~800nm的增透膜, 可以利用Hfo2+SiO2镀膜效果好。4楼友说得没差，但要注意短波处的吸收。

zmiin · 发表于 2005-1-18 02:15:00

謝謝4樓和5樓前輩~

之前我有曾考遇到Nb2O5,不過好像沒有HFO2來的理想是嗎?

但是HFO2的材料係數是怎樣呢?我沒接觸過啊,該又什麼樣的方式去做呢?蒸鍍式還是濺鍍方式?

可不可以請前輩提供材料資料給我呢?

謝謝

yh15430 · 发表于 2005-1-18 05:52:00

HfO2可电子枪蒸镀~

guangang · 发表于 2005-1-18 17:29:00

HfO2用電子槍蒸鍍，我隻用過幾次，而且層數不多，不知道多層的效果如何！但是它從230nm--12000nm都透光，做紫外膜應該比ZrO2要好很多，ZrO2理論上300--8000nm透光，但是如果做的不好的話，310nm處可能會有吸收，不過有條件的話，可以兩種料都試試看，那種好就用哪種！

laosan · 发表于 2007-1-12 02:48:00

小弟是刚接触这个领域,麻烦问下 AR coating 是指增透膜的意思吗,

还有请问 AOI 是什么角度啊,谢谢关照.

laosan · 发表于 2007-1-12 02:56:00

在BK7玻璃上镀增透膜,要求在420--680nm波段平均反射率小于0.5% .

请教各位可有什么好的建议,多谢关注.

yuanguoxiang · 发表于 2007-1-13 01:02:00

镀制ＵＶ－－ＡＲ膜可用ZrO2+SiO2非规整膜系镀制，１５－－１７层即可，晶控

逐梦者 · 发表于 2011-9-14 00:25:43

同意五楼的意见

[求助]请教420--680nm增透膜