今天在准备镀膜的时候,在镀Tio2时,APC不能控制氧气导入,进行压力控制,机器自我诊断结果是:
APC RESET.昨天晚上一切还好好的,APC的设定值也没有改动过,氧气罐压力显示也是正常的..
如果在一般排气状态,按下APC的电源按钮,机器会报警.
我用的是SHINCRON-850D镀膜机,
请大哥们抽出点时间给小弟解答.
小弟在这里谢谢了!
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