用哪些仪器测量面形和曲率半径

用哪些仪器测量面形和曲率半径（如：刀口仪）

刀口尺实在是比较粗略的测量工具，

平面——精度差不多的可以泰曼干涉仪或国产激光平面干涉仪

精度比较高的可以用ZYGO（激光数字平面干涉仪），这家伙好使，可以测量面形，波前畸变，角度，平行度等

球面——最普通的最直接的就是样板控制面形和曲率

当然，球径你可以选用球径仪，如果水平比较高的话，可以自己设计测量工具

面形可以选用球面面形测量仪（非接触式测量）

用干涉仪可以测量平面或球面和曲率半径

测量曲率半径最精密的方法是干涉仪和光栅尺联合使用。

面形误差检验方法(1)有样板检验法能发现1/20λ面形误差;(2)干涉仪法能发现1/20-1/200λ面形误差(3)阴影检验法(刀口仪法)能发现1/200λ面形误差.测量曲率半径方法有(!)自准直前置镜法,测量范围10-10000m(2)自准直显微镜法,测量范围凸面2-100mm凹面2-150mm(3)环形球径仪法测量范围凸面5-12凹面6-1200mm00mm(4)干涉仪法测量范围10-1000m(5)阴影检验法(刀口仪法).测量范围凹面1-10m.上面各方法各有优缺点供参考

我公司就有生产干涉仪(泰曼、斐索都有)和光栅尺!

并且相关配件的标准和美国国ZYGO是一致的，也是可以互换使用的。

欢迎来电咨询：025-84433141-8003，84433142

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公司名称：南京英特飞光电技术有限公司

用南京理工大学的干涉仪可以测

面形可以通过样板、面形干涉仪测量。
曲率半径就复杂一些了，要看范围。一般可以用样板、干涉仪、球径仪等，不过对大曲率半径（5米及以上的），需要有特殊的检测方法了。