镀膜雾状原因分析。。。

考慮下更改下治具，

是固定位置的基片才会起雾吗？

可能是氧气进入量太多或太少吧

有可能是基片本身问题

1表面腐蚀不均,

2污染

使用铝箔纸是一个好方法,铝箔可以吸收一部分膜料.

玻璃材料是否不稳定?

有没有可能是由于清洗后基片表面没有完全干好?

我遇到过的情况：

离子源太厉害了，从镀膜伞上的镙丝孔中绕射。

各位大哥,若有进一步解决办法,请再说说吧！

小弟也有这样的问题！

如果盖上铝泊还不行的话，那就得考虑是膜料或是离子源的问题了

不过有人说是离子源能量太强会造成这样，也有人说是太弱才会发蒙的

你是用的莱宝的APS吗？

我们也遇到了同样的问题,但好象是在镀膜面产生的雾状物质.

从清洗到机器,到膜料看了个遍,

也没有找到问题所在,

请问,镀膜镜片的湿度影响大吗?

清洗之后到装进真空室去镀膜大概有多长时间，时间长（２小时）有可能会造成这样的问题。