请问:如何在NSC模式下,实现一个狭缝?

gyl586 · 发表于 2005-12-22 23:47:00

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>我要仿真一个光刻模型,一束平行光透过一条狭缝照在光刻胶上,仿真在光刻胶不同的深度,光强的分布!</P>
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>首先平行光,我用的是矩形光源,不知是否妥当,</P>
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>其次,狭缝真的不知道该怎么实现,对象里面没有,我想用两块长方体,拼出个狭缝,不知行不行,有没有好点的办法!</P>
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>小弟对ZEMAX刚刚接触,手头还没有NSC设计的材料,万望各位高手不吝教诲!:)</P>

stevenwu · 发表于 2006-1-3 21:18:00

用光栅可以的，不过你要做的这个功能，估计只有tracepro才能做，zemax做不了