遇到怪事,请高手破解,在此不盛感激

 火...
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发表于 2006-1-6 17:00:00|广东 | 查看全部 阅读模式
用霍耳的离子源且离子源位置不是在正中间,镀IR-CUT,用的是大锅盖型夹具,分有四圈,镀出来的产品指标OK,但是发现123圈的片有点
发蒙,但光洁度还好,然而第4圈的片子没有发蒙挺透亮的,却有很多的点子。猜想会不会是离子源轰击不均匀造成的呢?听一个专家说过离子源能量轰击的越多,那么膜层就会越致密,就会是基片更透亮,反之就会有发蒙。但又有听说是离子源轰击的多才会发蒙的,反之就透亮,透亮原因是散射造成的。但散射这慨念不太了解是什么意思。。。。然而到底是怎么回事呢???????

回复|共 12 个

zjtzzy Lv.7 发表于 2006-1-6 19:15:00|浙江 | 查看全部

离子源的能量太高

宇轩 楼主Lv.8 发表于 2006-1-7 02:23:00|广东 | 查看全部

可是霍耳源的能量是很小的啊?阁下的意思是降低能量就行了吗,谢谢你的指点

martin1980 Lv.14 发表于 2006-1-7 16:28:00|浙江 | 查看全部

这个原因可能很多的,不知你加温多少,离子源阳极电流多少?

我做IR-CUT,可以交流,QQ:28398195。

宇轩 楼主Lv.8 发表于 2006-1-7 16:49:00|广东 | 查看全部
加温是200度,阳极电流7A
compass Lv.6 发表于 2006-1-29 20:26:00|广东 | 查看全部

铼宝的典型问题 离子源

laoxianccc Lv.8 发表于 2013-4-27 12:40:16|浙江 | 查看全部
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新手求教 Lv.7 发表于 2013-4-28 11:15:21|江西 | 查看全部
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ouyuu Lv.2 发表于 2013-5-6 09:40:53|上海 | 查看全部
离子源分布问题
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maray Lv.8 发表于 2013-6-3 09:48:56|广东 | 查看全部
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强子 Lv.7 发表于 2013-6-3 10:05:02|湖北 | 查看全部
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ghtzna Lv.9 发表于 2013-6-3 14:39:23|江苏 | 查看全部
有两个问题
1:外圈与中间发蒙是否和离子源有关      建议保养离子源及调整工艺参数考虑
2:外圈有点子是否和其他有关,比如夹具的清洁度。  
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