奇了！！透光看光洁度OK，反光看镀膜产生的亮点N多怎么回事？

cswtct · *发表于* 2006-4-10 23:35:00

镀膜面透光检验光洁度20-10，在50倍显微镜下反光检验有非常多的亮点，搞不懂是怎么产生的。哪位同仁有过这样的经验的给点意见呀？先谢谢了。

killjackson · *发表于* 2006-4-11 03:50:00

产生反应了!

martin1980 · *发表于* 2006-4-11 16:01:00

20-10怎么检验的想知道?

chugqchugq · *发表于* 2006-4-11 17:15:00

反射对比度大，能看到点子。

cswtct · *发表于* 2006-4-11 19:27:00

可是同样是点子为什么有的点子反射观察与透光观察不一样呢？

还有这种类型的点子是怎么产生的，反光看有点像脱落的点子。

cswtct · *发表于* 2006-4-11 19:57:00

如果是产生反应是什么和什么反应的呢，我们基片为LN，镀膜膜料为五氧化二钽和二氧化硅。

renajin · *发表于* 2006-4-12 17:47:00

我们公司也是啊

ken8447 · *发表于* 2006-4-12 19:13:00

个人分析原因有以下几个：1、由于镀膜材料或镀膜设备所造成的蒸发不稳定，

2、镀膜材料有杂质，3、腔体内有异物，在镀膜过程中产生碰撞，使镀膜线路发生变化。

但控制非常难。

lunik · *发表于* 2006-4-14 00:32:00

我们也有同样的问题，谢谢8楼的兄弟。

zzzz · *发表于* 2006-4-17 19:06:00

这不就是一些没有镀上膜的点吗

yari1225 · *发表于* 2006-4-19 17:38:00

可能是蒸发速率太快了吧

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