[求助]薄膜表面出现散射

few

霧面的確是整面均勻發白現象

Ar 150sccm ; O2 85sccmower 3500W

已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T

ic5

材料的结晶化是比较头痛的事。

你试着从温度，Power方面做做看！这就是工艺，就得自己摸索！

WUXIAOTIAN

发雾有多方面的原因。

表面研磨质量、温度、沉积压力、沉积速率不当都可能会造成镜面发雾。

建议改变一下溅射压力看看。

huhu

[B]以下是引用[I]few[/I]在2006-7-19 8:48:00的发言：[/B][BR]p霧面的確是整面均勻發白現象/ppAr 150sccm ; O2 85sccm ; Power 3500W/pp已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T/p

感觉还是要重点考虑清洗的影响。

如果可能的话，用人工擦拭几片基板，用同样的工艺，看结果怎么样。

（基板较大的话，人工擦拭可能有点难度，^_^）

eagle1

这样的事情非常头疼。你在镀制的时候可以考虑放进k9玻璃进去。这样能够排除玻璃的问题。

few

我有試過以鹼性洗劑擦拭表面

可是鍍出來好像也沒有任何改善的跡象

真是惱人的霧面 -.-"

huhu

单纯用无水乙醇＋无水乙醚擦拭基片，不要用其他洗剂。

以前用电子枪的时候发生过“发雾”现象，现在用溅射，还没发生。

密切关注中～

killjackson

19楼的HUHU老兄,

我用电子枪镀MgF2的时候发生“发雾”现象,能不能给我解惑呢？是什么原因，怎样解决？

多谢了！

我的邮箱和电话：13085161950@hb165.com

xpizwj

密切关注镀膜中的“发雾”现象。

chenchen

发雾的主因还是材料的结晶化，改善溅射条件能够达到一定的效果。在厂商的技术交流会上对此问题作过一些探讨，可以作为参考。

huhu

不知道Few老兄是否已经解决了“发雾”问题。

20楼killjackson老兄：

很抱歉，以前我只是在尺寸较小的基板上大量使用过MgF2，当时没有出现过表面发雾的情况。

我猜除了基板表面洁净度，材料结晶化以外，可能还要考虑一下MgO的作用。