[求助]彩色滤光片制作过程中的疑问

garyzhang_1027 · 发表于 2006-8-17 00:00:00

请教各位DX,在彩色滤光片制作过程中，有一步骤是测量PS（好像是Photo Spacer）的，

1. PS的测量原理，方法是怎样的？

2. 有款ZYGO的机器可以测量PS，哪位DX知道它的规格参数，如：精度...

急切盼望回复

casix · 发表于 2006-8-23 16:09:00

Zygo有多种型号，具体规格精度到zygo的网站上就有

garyzhang_1027 · 发表于 2006-8-23 17:05:00

[B]以下是引用[I]casix[/I]在2006-8-23 8:09:00的发言：[/B][BR]pZygo有多种型号，具体规格精度到zygo的网站上就有/p

非常感谢你的回复，不过ZYGO的网站我已经去看过了，关于FPM这种类型设备的精度没有啊，还望赐教

weijiatao006 · 发表于 2007-9-30 10:56:00

慢慢来