[讨论]宽光谱监控

huhu · 发表于 2006-8-27 02:28:00

最近对宽光谱监控很感兴趣，但网上总是找不到较好的资料。我主要想了解在实际使用过程中，控制要点在哪些方面？如何较好地进行人为干预，如能提供一些资料或思路，不胜感激！

前两天无法上传文件，今天上传2篇，共享～宽光谱膜厚监控仪的研制; muQSYIlY.pdf (98.1 KB, 下载次数: 4)

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[此贴子已经被作者于2006-9-6 20:34:28编辑过]

huhu · 发表于 2006-8-29 04:14:00

基于宽光谱监控的光学薄膜自动控制技术

V1IZmoQT.pdf (274.38 KB, 下载次数: 5)

otxtc · 发表于 2006-8-30 05:38:00

以上几篇比较，张诚同学的研究较为深入一些，至少说的较多一些。早先还有其他研究单位进行过宽带监控研究。
但是，光学系统的稳定性，CCD方面光学，电子学等原因恐怕还是很难跨越的坎。尤其是后者相对于目前技术而言影响更多一些。
而这几篇文章中都避而不谈，是怕别人学到真经？
明显，有的结论给出的参数仅是最佳状态下的，难以服人。
另外，要想光学监控发挥最大效能，镀膜机的真空，温度，电子枪，离子源等关键因素的稳定性与重复性也是必不可少的。这点恐怕是目前国内研究单位(国产设备)自身难以达到的(进口设备，谁有空给你搞监控玩，呵呵)。

如果楼主真有兴趣，可以去找张诚等同学的相关论文（硕士博士论文），应该会有更深入的东西。

wazxq · 发表于 2006-8-30 18:42:00

那些都是骗人的 Leybold做得不错~~~~~~~~~~~~~~~~

otxtc · 发表于 2006-8-31 02:15:00

说骗人，未免有些偏吧。国内还是做了不少研究工作的。如果镀膜机其他方面再好一点的话，结果肯定会不一样的。

一些研究不更深入，浅尝辄止。从零做，后期没有进一步提高，学生毕业走人，做到后来都是零。

在国内搞光学监控，光学知识只占一小部分，你需要更多的是机械，电子，软硬件方面的知识。学生阶段哪有这么全面的人才，孤军奋战能有那样的成果已经难得了。

huhu · 发表于 2006-9-1 06:26:00

如果楼主真有兴趣，可以去找张诚等同学的相关论文（硕士博士论文），应该会有更深入的东西。

Thank you very much

继续上传：薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正; 0wdaBSLC.pdf (187.96 KB, 下载次数: 5)

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huhu · 发表于 2006-9-1 06:39:00

[B]以下是引用[I]wazxq[/I]在2006-8-30 10:42:00的发言：[/B]
那些都是骗人的 Leybold做得不错~~~~~~~~~~~~~~~~

斑竹，你那里有没有一些更深入的资料啊？有的话，我先谢过了，^_^

otxtc · 发表于 2006-9-2 05:41:00

1, 现在的软件都考虑了色散 + 吸收了吧。文章的前提没有了。
2, 书上的公式不要抄那么多吧，特征矩阵就行了。3, 单层都有那么大的误差(10%)，还指望厚度监控误差达到10-3，还以下？数据呢？

结论：
后两篇相同内容文章驳回！

huhu · 发表于 2006-9-2 06:57:00

是啊，很多论文只能看看思路，呵呵～

可惜弄不到宽光谱监控设备的manual，-_-！！！

otxtc · 发表于 2006-9-2 16:42:00

单层测量整体偏差大，可能原因还有，测量前后光路偏差；暗噪声变化；监控厚度不对等等。
只归结为色散和吸收恐怕说不过去吧(仅为了发文章？不发也罢，实在是误导，不知怎么审稿的)。

如果采用间接监控，宽光谱宣称的直接看到光谱这个最大优势将不复存在（监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事，这中间的关系还不只一个tooling问题）。
光路偏差导致测量结果偏差，而宽光谱恰恰需要绝对透过率（反射率）作为监控对象，它的评价函数到底怎么在走? 如何选定加权？
不同膜系还是需要仔细考量的，而把这个问题交给用户摸索是不负责任的。

综合前言，我以为，国产机器上宽光谱监控目前还看不到前途(没有刺激到某些人吧，呵呵)。

huhu · 发表于 2006-9-2 21:45:00

监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事，这中间的关系还不只一个tooling问题。
在某些设备上，应该可以解决这个问题。

光路偏差导致测量结果偏差，而宽光谱恰恰需要绝对透过率（反射率）作为监控对象，它的评价函数到底怎么在走? 如何选定加权？
在镀制a层中，系统将测量的结果通过函数进行评价，当接近膜层理论厚度时，评价出一个最小值来做为中止镀膜点。接着换材料镀制（a＋1）膜层，由于是光控，膜层会进行补偿，（问题一：补偿后产生的结果如何评价？），然后在接近理论厚度时，又找寻最小点进行中止。
当然，评价波长点应该是预先设定的，如何选择这些点，可能是先通过计算膜系模拟镀制过程进行预先选定，然后在实际镀制过程中进行下一步的选点优化（问题二：一般来说，我们是对敏感波段加密选点吗？对选定的点怎么判断加权重呢？）。

唉，哪位老兄有宽光谱监控系统的手册啊？

otxtc · 发表于 2006-9-4 05:42:00

监控片的光谱与样品片的光谱不是一回事，这中间的关系还不只一个tooling问题。
在某些设备上，应该可以解决这个问题。
这些问题基本很难。即使进口机台也没有听说过哪家可以解决这个问题。
如果解决了这些问题，就没有必要用宽光谱了，因为用一个波长反推整个膜系即可，这也正是单波长监控的出发点。

在镀制a层中，系统将测量的结果通过函数进行评价，当接近膜层理论厚度时，评价出一个最小值来做为中止镀膜点。接着换材料镀制（a＋1）膜层，由于是光控，膜层会进行补偿.

有了偏差后的评价函数走向会发生变化。不同膜系，这个变化方向是不一样的。
光控的补偿只有单波长极值法中才有理论依据。
宽光谱中的所谓补偿是一厢情愿的，尤其是间接监控中，这样的补偿有些情况下会使得问题更糟。后面层的补偿会变得越来越奇怪。
于是有了多监控片进行截断误差的方法，但这却违背了宽光谱监控的本意。

研究型单位，带个把学生玩玩可以。生产型单位，再等等吧，目前完善到可以取代单波长监控的宽光谱监控还没出来。

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