ic5故障，请高手指点阿

flashzhang · 发表于 2006-11-11 00:12:00

inficon ic5晶控仪故障，同时有光控和晶控条件下，熔药时电子枪电流正常，挡板打开后，正式镀膜时，没有电流

请教高手该如何处理？

谢谢

wazxq · 发表于 2006-11-11 18:01:00

熔药是自动的还是手动的~~~

wanjun · 发表于 2006-11-12 04:00:00

是不是蒸发速率设置有问题？

lunik · 发表于 2006-11-14 05:15:00

我们这以前也发生过类似问题，是离子源干扰电子枪，电子枪打火导致的，不知您的是什么原因？

zzzz · 发表于 2006-11-18 00:57:00

是不是IC5的设置有问题,或是根本没有设置成自动控制

z1206l2006 · 发表于 2006-12-23 05:13:00

个人认为是冲入工作气体后，真空度突然变得太低。大于8.0E-4torr就会出现此问题。

应调整离子源的电压电流