[讨论]用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机

youfishno · 2006-11-27 00:38:00

最近研发用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机（波长266，355nm）。

请问业界对使用激光划片机有什么具体要求？心得？

如，激光对掺杂的影响？对器件性能的影响等等？

Daniel-Yuee · 2006-12-13 19:33:00

这个东西作好的话，应该不错的

ccc502 · 2007-11-14 12:50:23

往往区

ccc502 · 2007-11-14 12:51:03

用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机哪里有卖的?

cscaosheng · 2007-11-14 13:01:39

日本

做这个东东做的不错,
中科院好象有这个设备!

ccc502 · 2007-11-14 13:11:56

那里有做这方面工作的

ccc502 · 2007-11-14 13:12:57

有没有做这个材料制备工作的,有的话请教一下

taotao1230 · 2007-12-4 23:10:08

没有用过日本的...用过欧洲的！！！！！！！感觉没有锯片可靠

好文章