HEPA高效过滤器和ULPA超高效过滤器

HEPA高效过滤器和ULPA超高效过滤器
     
    HEPA 是英语high efficiency particle air filter的缩写形式，ULPA是英语 ultra low penetration air filter的缩写形式。
    根据EN1822 分级，HEPA分为五个等级，即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14；ULPA分为三个等级，即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA过滤器是洁净室的心脏，所以要保证洁净室的洁净度，要对过滤器进行逐台扫描检测，下表是不同等级过滤器对效率的最低要求。例如H13对MPPS的最低效率为99.95%，一般记作：效率 99.95% at MPPS, 这与“效率 99.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同，因为0.12 或0.3 不一定是该过滤器的最易穿透粒径，对于HEPA 高效过滤器和ULPA超高效过滤器，一定要知道该过滤器的“最易穿透粒径MPPS”是多少。

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