光控测反射率时控制波长的选择

 火...
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发表于 2007-9-14 09:26:55|广西 | 查看全部 阅读模式
现在我想镀一个多层增透膜,中心波长为550nm,采用M2HL的结构,M为氧化铝,H为氧化锆,L为氟化镁。用光控(测反射率)的方法控制膜厚。现在我就搞不懂监控波长该怎样选择。我的理解是这样:镀膜中控制的是nd值,也就是针对这个膜系来说,M的厚度为137.5nm(四分之一的中心波长),H的厚度为275mm,L的厚度为137.5nm。当控制波长选用中心波长时(550nm),这三层膜的厚度分别为走一个极值、走两个极值、走一个极值。如果用275nm的波长来控制时,则别变成走两个极值、走四个极值、走两个极值。这样的理解对吗?是否可以用这样一个公式计算:如果结构为xMyHzL,当设计波长为a时,监控波长分别选择为xa、ya、za,这时都只走一个极值。当不是垂入射时,将xa、ya、za分别除以该材料中的入射角的余弦值即可。不知我这样的理解是否正确,希望得到各位高手的指点。

回复|共 7 个

ysc730603 Lv.7 发表于 2011-6-22 16:05:16|重庆 | 查看全部
理解正确
Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-9-9 15:22:51|江苏 | 查看全部
理论上是这样没错,但实际上因为镀膜机的不同,还有老化等原因,控制波长比参考波长要偏差那么几个到几十个纳米的吧。
但问题是,我不知道怎么修正这个偏差值啊!哪位大哥99我啊。。。。
wangxudong1227 Lv.7 发表于 2011-9-9 18:37:19|浙江 | 查看全部
设计。镀膜。看结果直接调厚度。再镀····循环···
缘睐汝痴 Lv.9 发表于 2011-9-10 00:13:58|江苏 | 查看全部
又进一步了,谢谢楼主
WEI爱依旧 Lv.6 发表于 2012-1-12 00:04:38|上海 | 查看全部
心静 Lv.5 发表于 2012-4-10 12:40:20|福建 | 查看全部
wdydede Lv.8 发表于 2012-5-12 00:21:43|湖北 | 查看全部
这样理解基本正确,但是太麻烦了,实际操作上会有些问题,如果监控波长不在
光控的光电管的灵敏范围,则燥声会很大。
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