发送离子源资料和讨论

guangang · 发表于 2007-11-10 11:09:01

原帖由 nanovac2 于 2007-10-23 09:36 发表
Mark II有好几种中和器，除了最常见的钨丝以外，还有空心阴极以及射频中和器。希望有用过的讨论一下特点。

我這裡用的是Mark II+Ho的,即空心陰極的離子源,VEECO的,但是陽極能量以前用的是160V,5A,有時候用到160V,7A,但是現在隻能用到120V,4A,如果能量再往高調整的話,離子源就打不起來,各位知道這是什麼問題,該如何來解決?

lb_allwishes · 发表于 2007-11-10 12:02:04

楼主也给我传一份吧
lb_allwishes@yahoo.com.cn
谢谢！

maxwell77 · 发表于 2007-11-21 16:31:10

给我一份吧！多谢楼主了啊！

zgn812 · 发表于 2007-11-24 12:47:55

楼主能给我发以下两种离子源的资料啊? zgn812@21cn.com

VEECO Mark II 空心陰極的離子源和Leybold APS 1104

不胜感激!!!!!!!

nanovac2 · 发表于 2007-12-7 10:45:55

谢谢以上各位，最近出差未及回复，现已将资料已发给大家了。

nanovac2 · 发表于 2007-12-7 10:49:20

guanyu3144，

出现细点子主要还是清洁问题。注意工件表面的清洁，真空室也应该定期清洁维护。

nanovac2 · 发表于 2007-12-7 10:55:04

guangang ，

你的问题可能是离子源开始积垢，锥形阳极表面，分流盘，以及各陶瓷件注意一下，看是否有膜材料沉积，若有，要清洁去处，如抛沙除垢，若无条件可用细目砂纸打磨掉。

zhaoyagang · 发表于 2007-12-7 16:22:01

正在运用离子源辅助镀膜,请楼主给点资料.谢了! EMAIL:XI001693@SINA.COM

nanovac2 · 发表于 2007-12-8 07:32:54

zhaoyagang ,

资料发给你了。

thaimaychant · 发表于 2007-12-8 23:03:49

离子源拆下来清洗，很经常再按上去就不好使

flytiger8 · 发表于 2007-12-14 20:48:55

我也是刚开始使用离子源镀膜，向楼主讨些相关的资料，EMAIL:flytiger.1111@163.com

flytiger8 · 发表于 2007-12-14 21:15:57

给楼主发了一封邮件，先在这里谢谢了