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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 阴极靶表面溅射出沟了.....

阴极靶表面溅射出沟了.....

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xyzxyaxyz Lv.5 发表于 2007-10-17 10:30:20|广东 | 查看全部阅读模式

镀膜的靶材被溅射穿了，造成阴极靶表面的铜面被开了一小道沟，长约２cm，深度有１mm内．

不知道各位前辈有没有遇到相同的情况，这会造成不量影响吗，需要靶阴极靶送去维修吗？

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