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厚度测量仪是在半导体,FPD(LCD/PDP), 纳米技术, 电子材料, 特殊薄膜等的研究和开发或在生产过程中测量薄膜厚度的装置。例如在半导体工程中绝缘膜,电极,保护膜等涂上许多膜或通过视觉等制作细微电路,各个膜的厚度与设计图体现的一样,半导体才会正常运转,而薄膜厚度测量仪是测量超细微膜的厚度,管理半导体样品的装置 。
测量薄膜厚度有很多种方法。在很多中方法中利用探针的机械的方法,利用显微镜的方法,光学方法这三种方法是我们最经常使用的方法。
在科美购买的装备是以上三种方法中使用光学方法,在薄膜的表面利用反射光和在下部的界面反射的光之间的干涉现象或利用光的相位差来决定薄膜的特性。因此利用此方法可以测量薄膜的厚度以及照度,光学常数。特别是透明薄膜,能维持光的干涉性,那么可以测量所有种类的试剂,就算是多层薄膜,也可以根据数学计算测量各个薄膜的厚度的优点。还有不损害样品的表面,使用上简便,可以快速测量从A到数十um水准的厚度。
本装备是分析光的数值,把光的数值变换成厚度的数值的装置。使用者要熟悉使用手册,要受正确的装备教育,因使用者的不熟练光的数值错误的变换成厚度的数值时,要有正确区别数值的 True & False分析力。 |
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