镀膜过程中充O2的目的和作用是什么?

无语了 · *发表于* 2008-1-6 05:59:23

请教镀膜过程中充O2的作用和目的,以及离子源的作用?谢谢!

txgteeq · *发表于* 2008-1-26 01:11:10

有多种作用和目的;首先氧化作用;对离子源的离子辅助强烈碰撞,最主要的是跟膜料发生氧化,要不然你镀出来的有些材料会使片子黑呼呼的就废了,应该是这样了,

ferry · *发表于* 2008-1-30 15:28:59

镀TiO2等氧化物时常要通氧，还原。

Lxykoko · *发表于* 2008-1-31 20:26:32

氧气压力不一样ND也会有点不一样哦,呵呵

huang12949 · *发表于* 2008-2-2 09:30:51

主要是一些氧化物在蒸发时很容易失氧所得到的化学成份和原块状材料有很大区别,所以有些材料在蒸镀时需要加氧.

huang12949 · *发表于* 2008-2-5 08:39:37

离子源的作用:通俗地讲是,惰性气体分子(一般是氩气)在通过热灯丝被电离成带正电的氩离子,加速冲击基底表面,打掉基底表面上粘接不牢的膜粒或表面上残存的灰尘颗粒,从而起来清洁表面和砸实膜层的作用;离子源还可以起来膜层均匀的作用,离子源对向电子枪蒸发方面,离子冲击蒸发颗粒,从而使蒸发颗料产生绕射,(改变了其原有的直线运动方向)从而使膜层均匀性得到改善.

我想这样解释应该是正确的,有哪位认为需要补充和改正的请续之