请问SiO2薄膜？

请问光电仪器，光电器件中以半导体材料硅为基底的增透膜通常是选用什么膜材
料？SiO2？还是SiO？还是氟化镁？还是氮化硅？我想知道通常在光电仪器中增
透膜膜层的厚度是多少？是否有什么规定？还请问SiO2和SiO的比热和热导率是
多少？谢谢！

俺是业余的，不过记得是氟化镁。曾经在光学镀膜一书中看过。