磁控溅射靶源结构探讨

dongbeiren · 发表于 2008-3-18 16:15:34

关于磁控靶的结构,不同的厂家有自己的设计特色,但本人目前只了解一些原理性的东西,对于内部结构,溅射后,跑道是如何形成的,为什么这样形成?为什么不在真空室内建立一个大的均匀的(相对)的磁场,靶作为阴极(平面),基板作为阳极而不是每个靶单独配置一个磁场?那位大侠慷慨一些,告诉我这个新手?

dongbeiren · 发表于 2008-4-23 16:18:58

这东东比较敏感,看来还是没有朋友交流,大家共同进步嘛?

redlinn · 发表于 2008-10-27 11:28:10

可能很少有人知道吧，我也想问呢

chris_yun1113 · 发表于 2008-11-1 08:36:20

LZ对磁控溅射的原理不清楚，建议去看些资料。简单的说就是电场磁场同时控制2次电子的轨迹形成跑道，高中物理上有。

chris_yun1113 · 发表于 2008-11-1 08:39:23

靶面上附着又N个小磁体（永久磁铁），然后用极靴固定。再给靶加电压，电磁场就形成了。
LZ认为在炉内控制一个均匀的磁场很简单吗?

sea88sky · 发表于 2009-1-15 11:43:54

靶面上附着又N个小磁体（永久磁铁），然后用极靴固定。再给靶加电压，电磁场就形成了。
LZ认为在炉内控制一个均匀的磁场很简单吗?

yiheng · 发表于 2009-1-18 14:23:43

有关磁控溅射的讲义,大家分享.需要磁控溅射源的可以与我联系.waitai868@YAHOO.COM.CN

yiheng · 发表于 2009-1-18 14:37:27

磁控溅射讲义,大家共享.有需要磁控溅射源的可以与我联系.waitai868@yahoo.com.cn

noodlesy · 发表于 2009-1-18 16:50:51

8# yiheng

资料不错，就是太笼统了。有点看不懂！

arraysputter · 发表于 2011-5-28 23:35:26

靶材为条形的，每根靶材后对应一组永磁场。

little998 · 发表于 2011-5-31 14:17:34

不懂，看一下！

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