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求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数

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发表于 2008-7-30 10:10:53|福建 | 查看全部 阅读模式
求助：用氧化铟锡陶瓷靶与用铟锡合金靶要如何设置参数
磁控溅射的
现在网上找的一些资料说溅射温度90 溅射功率200W AR与O2的分压比为40：10

但机器上我们不是要设置O2流量与  AR流量 这些我不知道怎么设置
刚进这行没几个月  希望高手给我介绍下
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xbimr Lv.8 发表于 2008-7-30 17:12:14|广东 | 查看全部
可以google查文献，还是蛮多这方面的。

假如是玻璃的，直接温度上300度吧，你的这个温度太低了，除非是刻意要求。
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noodlesy Lv.8 发表于 2008-8-1 12:39:21|上海 | 查看全部
是不是质量流量计？是不是质量流量计？
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nation Lv.8 发表于 2008-8-3 17:14:44|广东 | 查看全部
你要镀的是什么要求，就用什么样的参数。
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