供应高性能哈特曼传感器2

哈特曼波前传感器系列
•        工作波长:0.308微米到3.8微米
•        采样频率：从静态到6500Hz
•        最大子孔径数：128×128
•        通光孔径：Φ4.16—Φ300mm
•        光强范围：从光子计数水平的微光到普通光
•        可分析的像差模式阶数：65阶Zernike
•        测量重复性：RMS优于1/250波长，PV优于1/50波长
•        与Zygo干涉仪比对互差：RMS小于1/50波长，PV小于1/10波长
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