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技术指标
1.        X、 Y、Z运动距离分别为:
                X向: ±7.5mm
               Y向: ±9.0mm
              Z向: ±10mm
2.        运动精度: 在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005mm.
             X、 Y方向运动15mm范围内,在Z向的分量小于0.005mm
3.         三爪机构夹持范围￠8~￠130
4.        X、 Y方向偏摆机构的偏摆范围不小于5 º