急求：镀膜二氧化硅和氧化钛的多层膜，用的是光弛机器1300，出现点子问题

my-sky · *发表于* 2008-12-12 17:52:03

TiO2容易飞溅吧，现在很多公司都把TiO2换成Ti3O5了，效果会好很多

longxiulin · *发表于* 2010-11-17 14:44:05

缘睐汝痴 · *发表于* 2011-9-6 16:17:01

zzzz 发表于 2008-11-25 12:46
怎样的光斑才算好尼??????????????????????????????????????????????????????????????

呵呵，就是。怎样的光斑算是好呢，楼主，你应该早就解决了哇，我现在也遇到了点子、雾状很朦胧的东西，救急啊，版主

gxfdllg · *发表于* 2012-3-26 10:56:41

估计是膜料太脏了还有坩埚也要清理一下。

zouyou828459 · *发表于* 2012-3-27 19:58:29

tfc · *发表于* 2012-3-28 11:01:19

缘睐汝痴发表于 2011-9-6 16:17
呵呵，就是。怎样的光斑算是好呢，楼主，你应该早就解决了哇，我现在也遇到了点子、雾状很朦胧的东西，救 ...

仅回答SIO2时光斑，1.筛选等颗粒度SIO2。用大光斑，用平时蒸镀略低电流，不开扫描，蒸200NM物理厚度，观察SIO2挖坑情况，如果光斑大小与坑大小差别越小，则越好，坑内越平越好，如果观察到坑的形状很象灯丝形状，一般是灯丝过粗

wdydede · *发表于* 2012-5-12 00:08:12

lzh123jy · *发表于* 2012-5-23 23:29:37

我们公司就是用光驰1300系例的机台！还行！

qs2784 · *发表于* 2012-6-21 21:24:10

可能是离子源异常放电了吧

laoxianccc · *发表于* 2013-4-26 15:50:16

光斑变大不开扫描是什么意思？求助。离子源什么参数适合

laoxianccc · *发表于* 2013-4-28 16:56:11

tfc 发表于 2012-3-28 11:01
仅回答SIO2时光斑，1.筛选等颗粒度SIO2。用大光斑，用平时蒸镀略低电流，不开扫描，蒸200NM物理厚度，观察 ...

想问一下你用的什么镀膜机，还有就是大光斑不开扫描是什么意思啊？

飛兲寶赑 · *发表于* 2013-5-5 08:52:36

l离子源电源电流不稳定造成的

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