H4膜层问题

 火...

回复|共 29 个

Lxykoko 楼主Lv.8 发表于 2009-1-8 20:46:14|四川 | 查看全部
我不是搞清洗的,我怀疑洗剂,但是领导不允许怀疑,我晕死
silentzys Lv.7 发表于 2010-12-15 15:13:02|广东 | 查看全部
H4膜层的化学名称是什么。
你的这种问题可能在清洗剂有残留或在表面有吸附造成、肉眼看不出来、镀膜后会出现
xinliangrizhao Lv.6 发表于 2010-12-19 14:13:14|河北 | 查看全部
是薄膜密着度不好,薄膜结构疏松,在经过洗剂后,洗剂腐蚀到了膜层内部,造成黑斑,看样子你用的也不是什么先进的镀膜机了,应该没有离子源吧,这样的话,就只能提高基片在镀膜时的温度了,提到350°C。
new1980 Lv.5 发表于 2010-12-20 10:07:19|浙江 | 查看全部
什么洗剂啊
冰雨8788 Lv.6 发表于 2010-12-24 22:41:38|福建 | 查看全部
楼上的分析有理,我认为也是这样,与膜层结构有关,不够致密。
xuyi198047 Lv.5 发表于 2011-4-7 20:50:54|江苏 | 查看全部
你知道的,我看不懂得,呵呵。
mxbplayboy Lv.7 发表于 2011-4-7 22:04:11|广东 | 查看全部
学习中
ghtzna Lv.9 发表于 2011-4-13 12:01:38|江苏 | 查看全部
这是AR很常见的问题,烘烤后就会有,看一下洗剂的参数。。。。。
山村野夫 Lv.8 发表于 2011-4-13 21:33:49|浙江 | 查看全部
这个也就是常说的潮斑,跟清洗工艺有直接关系,另外MGF2也很容易吸潮,最外层镀SIO2潮斑会少一点
山村野夫 Lv.8 发表于 2011-4-13 21:33:57|浙江 | 查看全部
这个也就是常说的潮斑,跟清洗工艺有直接关系,另外MGF2也很容易吸潮,最外层镀SIO2潮斑会少一点
ranguangpu Lv.7 发表于 2011-4-14 19:50:21|广东 | 查看全部
那是渍,是你工艺不行,
ranguangpu Lv.7 发表于 2011-4-14 19:51:35|广东 | 查看全部
你镀什么东西啊,增透?

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