哈佛将颁专利 黑色硅晶圆 全新超灵敏感光材料

Aquatimer

更新日期:2008/10/13 04:34 潘勋／纽约时报十二日报导
哈佛大学物理学家玛祖尔（Eric Mazur）的直觉，发现了全新的材料「黑色硅晶圆」，可广范运用于超灵敏感应器到光能电池等科技。哈佛大学准备在十三日颁发专利，给集资生产黑色硅晶圆的麻萨诸塞州「硅安尼克斯公司」（SiOnyx，暂译）。
玛祖尔博士率领的团队原本接受美国「陆军研究组织」资助，研究各类金属表面的催化反应。但是到了一九九○年代末期，玛祖尔表示自己对金属已感厌倦，开始思索其它课题，但他又担心陆军不再挹注研究资金。
玛祖尔指导研究生卡瑞钻研自己的构思，用极强力雷射光照到硅晶圆上，同时使用半导体产业常用的六氟化硫气体来蚀刻。如此造出来的硅晶圆，用肉眼观看呈黑色。玛祖尔等人使用电子显微镜仔细检查新材质，发现其表面覆满超细的钉状物。
一开始，玛祖尔等还不晓得自己误打误撞，造出什么东西。但接下来发现，黑色硅晶圆对光极其敏感，卡瑞表示，相形传统硅晶圆制作的传感器，黑色硅晶圆对光的敏感度要增加一百到五百倍；目前本材料接近商业化量产，一开始最可能用在夜视系统。
玛祖尔博士的研究成果，导致不少学术及企业研究团队进一步探索黑色硅晶圆，目前发现，黑色硅晶圆能吸收的可见光，比寻常硅晶圆多一倍，此外，它有能力察出红外线，而目前的硅晶传感器做不到。
卡瑞邀人共同投资创办「硅安尼克斯」公司，玛祖尔博士也有投资，并担任科学顾问团主席。该公司已开始商业量产以感应器为本的黑色硅晶圆芯片，充当别家公司的科技开发平台，同时把成品运用在下一代红外线成像系统。
在未来，黑色硅晶圆拥有低成本、灵敏度更高的优势，可能进军产值数十亿美元的数字相机、摄影机影像市场。
「硅安尼克斯」持续实验黑色硅晶圆的光能特质，但公司执行长赛勒表示，目前还不打算进入市场，变成太阳能电池厂商；他表示，该公司的目标是科技提供者，而非成品制造厂。赛勒最想做的，是造出全新世代、超敏感的光侦测器，供创业家及实验专家使用，让这项科技导往难以预料的新应用方向。