求助： 关于镀膜的时的几个问题，谢谢了

大家好，镀膜新手来求助几个问题，希望同行能多多指导，在此先谢过了。
1.厚度均匀性怎么测或计算得到的。一般来说，除了直接测量薄膜的厚度外，通过透射光谱如何计算出薄膜的厚度均匀性？
2.镀膜机的真空系统。对800的电子束蒸发镀膜机，机械泵+扩散泵 与 机械泵+罗茨泵+扩散泵有什么区别？
3. 国产的镀膜机，河南中光学的镀膜机如何？

请大家多多指导，谢谢了

我也是新手，我是做氟类表面防污涂层剂的，用途
適合於使玻璃、金屬、陶瓷等材質具有防水防油性、防污性、
防止指紋附著、表面光滑等功能運用上。
●液晶顯示部分的表面防污
(例)數位攝影機、數位相機、汽車導航系統、
行動電話、ＰＤＡ等
●平面CRT表面的防污
●光學鏡頭表面的防污
(例)眼鏡鏡片、相機鏡頭、各種測量儀器的透鏡等
●OA機器部件表面的防污
(例)影印機的接觸玻璃部分

1、查书
2、罗茨泵用于增压，用比没用好
3、不知道，好象还可以，号称设备都是自己做的

谢谢，关于均匀性能不能具体说一下，实际操作的方法

没有必要计算均匀性，定性的考虑一下就可以了饿

因为要购买镀膜机，验收时有均匀性的指标，由于直接测量膜厚有困难，所以要用分光光度计先测量出透射率，再反推出均匀性。我只知道这么做的，但具体怎么计算不清楚。

就像摊煎饼那样，薄厚要均匀

实际上控制膜厚的一般有晶振和光学控制两种，对于要求不是很精确的而言用晶振控制应该就够了，我原来的那家公司用的镀膜机都是晶控的，像镀透过率在95%（400-700）的AR膜没有什么问题，如果要镀要求比较高的像截止膜，偏光膜之类的，最好可以两个一起用以光控为主，辅以晶控。
   如果你镀的膜对于真空度要求比较高，如10-4torr以下建议用带罗茨泵的机器，这样抽真空时间比较快，如果要求不是很高，不带罗茨泵也可以，起码便宜些。
  PS：用过国产的蓝光的机器再用进口机感觉国产机不知道是在钢材还是什么其他原因，好像密封性不太好，均匀性和电子枪的稳定性也都不如国外的。实际上小日本的机器性价比比较高（宣扬日货大家别打我，这一定程度上也是事实证实的）

光谱膜厚的均匀性可以通过对不同的几个点的产品的光谱曲线测量来测呀

6# stonetiny


透射测出来直接看均差就可以了，

我们是用反射，几个点测量下来，均方差在2%里面可以接受

学习了，均方差在2%里面可以接受