基于DMD光学系统的光照问题

holly19850820

现在做一个光固化设备的曝光系统，用DMD做光调制器，
类似像投影系统，比较不一样的是曝光面积小（120*120mm），也不涉及到分色和合色的问题。
光源必须为紫外光源（我初选的高压紫外汞灯），现在在照明结构设计方面遇到了麻烦。
我拟定的光照系统是：用抛物面反射镜，形成近似平行光，再通过准直系统，透镜组，入射到DMD上。不知道这样的系统可不可以实现
本人光学知识很欠缺，望了解的达人，给指导一下。

mengfh

还是说一说你遇到什么麻烦了嘛............

holly19850820

2# mengfh


我现在比较不清楚的是，我拟定的这个照明系统能不能在原理上实现预期的要求。我担心做了以后，在原理上都错了。

aaronzhou

看你的描述应该是做光刻或者曝光吧，如果是光刻，要结合投影成像系统考虑对照明光场的要求，比如平行度、均匀性、能量等

holly19850820

4# aaronzhou


是面曝光，加工精度没有光刻那么高。直接投射一个曝光面，在树脂上，使它固化。

henry007

目前DMD应用领域为投影机市场，光谱范围主要集中在可见光范围，如果你用紫外光源，要与TI确认，DMD对紫外光线的反射性能怎么样？如果效率很差，及时整个系统出来，也是无法应用，TI也不会因为此，而专门设计新产品给你

yongsina