[讨论]面型分析

mahubble · 发表于 2003-7-14 00:59:00

这里对于古典抛光而言，一般的认为PV值是RMS值的4-8倍。

一块100口径的平面，如果它的面型PV值达到1/5波长，RMS达到0.04波长，那么如果只是用其中的小块面积大约20口径时，它的面型精度能达到多少？（大致的估计）。如果反过来用局部口径的参数来估计大孔径参数呢？用PSD计算能有一个比较方便的估计吗？
如果认为面型数据为平稳随机过程，则口径的变化不会影响RMS值。但是一般来说使用干涉仪软件自带的MASK功能可以方便的看到各个孔径上的RMS确实会有所不同，这说明一般面型数据不是平稳的，那又用什么来估计呢。

masmin · 发表于 2003-7-24 01:07:00

嗨，上面的那位，你是西安那里的？

angzh030721 · 发表于 2003-7-27 02:57:00

我也在西安上班，能认识你们吗？

听风吹过 · 发表于 2003-8-8 05:57:00

西安的朋友可以认识一下

mahubble · 发表于 2003-8-10 03:20:00

怎么成了交友联谊会了？请大家还是讨论技术为主，相关的个人信息可以从置顶贴中找到，到哪里报个到而已。
可以认为psd的积分就是方差rms，而同一镜面的工艺相同，可以认为面形是平稳过程，不同的子孔径的rms不同只不过是随机本性的一种体现，如果采样点足够多，根据大数定理，rms是趋于一致的。使用子口径的监测数据完全可以用来估计大面形。但是两者之间的口径比值不可以太大，具体的数据我还不能给出，但是相信对于不同面形这个数据是不同的，而且是可以计算的。

liuhk · 发表于 2003-8-12 01:31:00

我做的是非球面PV值Rt＜＝1-1/2波长（0.5um-0.2um），粗糙度Ra＜＝0.01um。平面拋光其实边垂现象本来就有，只是大与小，而且跟材质有很大差异。平面拋光只要是选对拋光pad及拋光剂及适当应有温度控制设备应该没有多大问题；我曾研究过多种玻璃材质及钢材都能做出不错的面形当然要视您的需求而定了。

ir2003 · 发表于 2003-10-18 06:15:00

非球面镜片的Form Accuracy(um)和 Surface Roughness(um)
一般要求多少？
评价方式是怎么算法？

hushujiang · 发表于 2003-10-31 20:33:00

下面引用由mahubble在 2003/07/13 04:59pm 发表的内容：
这里对于古典抛光而言，一般的认为PV值是RMS值的4-8倍。
一块100口径的平面，如果它的面型PV值达到1/5波长，RMS达到0.04波长，那么如果只是用其中的小块面积大约20口径时，它的面型精度能达到多少？（大致的估计 ...

我对这个主题，也很感兴趣。
请教一下
“一般的认为PV值是RMS值的4-8倍”
这个论点的理论依据在哪里？

hushujiang · 发表于 2003-10-31 20:39:00

我对这个主题，也很感兴趣。
请教mahubble:
“一般的认为PV值是RMS值的4-8倍”
这个论点的理论依据在哪里？

小明 · 发表于 2003-10-31 21:55:00

请问能测pv值和rms值的干涉仪有哪几种，带何种软件？

hushujiang · 发表于 2003-10-31 23:06:00

我对这个主题，也很感兴趣。
请教mahubble:
“一般的认为PV值是RMS值的4-8倍”
这个论点的理论依据在哪里？

mahubble · 发表于 2003-11-1 00:36:00

不好意思最近忙没来，
理论依据是没有的，纯粹是实际经验，个人认为与加工工艺和加工时间有关，因为从统计上讲如果没有模型，两者是没有关联的。但是如果认为面型数据是个高斯过程，则两者有概率上关联：比如rms为样本均方差，它可以作为均方差的无偏估计，而pv值可以认为是信号的动态范围，如果估计pv=6rms则其置信概率为大于98%，符合误差处理中的3西格马原则。
大家可以再讨论一下。

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