请教SI(硅片)抛光后的下盘和清洗处理!(急)

kitten

请问有没有哪位朋友有抛光硅片的经验啊,硅片在完成抛光后应该怎么下盘和清洗才比较合适呢,怎么进行抛光后的表面清洗和保护,下盘后又需要怎么样的清洗和擦拭.谢谢！
因为光学上的硅片加工和晶圆上的不一样,我们现在又需要马上进行生产.所以想了解一下光学加工上的硅片加工的工艺.谢谢!

kitten

有没有高手指导一下啊！

juhongbing

关键是你加工的形状如何,打算是机械夹持还是胶粘上盘!