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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › Ta2O5的特性

Ta2O5的特性

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发表于 2009-10-17 17:49:41|云南 | 查看全部 阅读模式
这几天在做Ta2O5这种膜料的工艺。工艺做下来，药材的折射率550nm时，在2.13～2.16之间。但测试片透光的吸收率特别的高。所以在这想问下各位高人，怎样来克服它的吸收率呢？谢谢了

    做的时候条件为：电子枪蒸发，电流为400mA，没有离子源，室内温度为340℃，充氧压为1E-2Pa（不充氧结果也照样还是吸收）
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sanma Lv.9 发表于 2009-10-17 20:31:53|福建 | 查看全部
用什么机子做的，可能失氧，可以镀慢一点，因没离子源，速率可以控制在1~1.5埃/秒左右，氧压1*10-2Pa差不多。
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水边鹤 Lv.5 发表于 2009-10-18 11:52:39|湖北 | 查看全部
氧化钽失氧不是很厉害，测一下成分看是不是失氧了再说
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molang2003 楼主Lv.8 发表于 2009-10-19 08:50:33|云南 | 查看全部
谢谢了！我去试一下。
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