4英寸单抛问题，懂的人请进！

sunday_zh

小弟目前碰到一个比较棘手的问题，工作单抛加工的4inch不能满足客户的厚度变动要求，有什么办法可以改善这个方面？

    客户要求： TTV        ＜7um / 5mm edge trim
                       PLTV        ＞95% Less than 1.0um(5*5site)
                       厚度(mm)        0.50±0.03

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