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本帖最后由 nancy-y 于 2013-4-23 10:49 编辑
美国4DAccuFiz激光干涉仪-通用型,原来是做WYKO干涉仪的,后来做动态干涉仪就是不需要隔振台那种,现在也出通用型的激光干涉仪,看了看参数,分辨率比ZYGO的高,分辨的条纹数多。而且仪器做的很小巧
测量模式:时域相移,可选动态测量
光源:632.8nm 氦氖激光,可选稳频激光,532,1053,1064nm波长可选
输出光束:4in或6in(100mm或150mm),圆偏振准直光
参考镜:卡口式安装,通用标准接口
4in口径:4.25in(10.8cm)轴向、水平或侧边
6in口径:5.26in(13.3cm)轴向、水平或侧边
变倍:10X
对准:双光束指示
相机:600 x 600像素,12位,可选1200 x 1200像素,12位
操纵杆:远程控制变焦、变倍、pan、光源直径、测量
系统软件:4Sight波前分析软件(含用户手册)
瞬时相移数据采集
合成参考面,数据相减,数据平均,设置模板等操作
2D及3D 表面形貌图
Zernike / Seidel/ Slope / Geometric / Fourier 分析
标定数据集的实际尺寸
绝对球面,三球面标定
支持HDF4 / HDF5数据格式
同时支持(opd、map、dat、hdf、int、cvs及 txt)
尺寸:52.6 x 23.8 x 20.3cm
重量:<13.6Kg(30lbs)
功耗:<750W
温度范围 工作温度:60–80° F, 无凝结
储存温度: 30–100° F, 无凝结
系统性能
条纹分辨能力 500对
采样率:显示速率> 30 f/s
样品反射率:1 到100%(要求衰减)
RMS 重复性:< 0.0002 wave RMS
<0.00004 wave RMS(带扩展精密包)
未标定精度:< λ/20透射平面(参考平面)
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