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正常成膜压力是1.8E-2pa,但是现在变成了3.2E-2pa,找了很多位置,都不知道是什么原因,求各位大师指点.
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同一罩镀出来的片子,有些上面有很多小点子,有些则没有。镀的是氧化物材料,离子源辅助?
请高手指教?
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RT 谢谢
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镀膜后出现的点子都有哪些原因,
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对于LBO之类晶体出现的诸如点子等问题其实很好解决. 首先要擦干净,LBO 等晶体的要求远比玻璃要求高,即使镀的都是激光膜,.擦的时候没有看出来的点子或脏东西,镀完之后非常明显,这点各位同行应该清楚; 其次周围环境要搞的非常干净,如果镀膜间不是超净间就更应该注意,特别是真空室里边更要一尘不染.
象有些同仁提出的静电问 ...
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近日,我在做一个表面要求是一级的滤色片,不管用离子辅助,还是加高温,表面都有数量较多的细点子,烦请同事,指点.[DISABLELBCODE]
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滤光片表面点子怎样消除,是环境因素?还是膜料?还是电子枪原因,请那位指点迷津。
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好东西,你值得拥用
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有麻点 什么原因 怎么解决