成膜压力上升如何解决？

飛兲寶赑 · 发表于 2013-4-2 21:38:22

正常成膜压力是1.8E-2pa，但是现在变成了3.2E-2pa,找了很多位置，都不知道是什么原因，求各位大师指点.

fql3310 · 发表于 2013-4-4 00:54:47

压力?那个称为真空度,你用的是压强仪?搞得我有点压力了...

魅力薄膜 · 发表于 2013-4-4 11:14:00

压力山大。。呵呵

魅力薄膜 · 发表于 2013-4-4 11:14:55

你是用什么控制的压强仪的设定看一下

飛兲寶赑 · 发表于 2013-4-4 23:32:19

魅力薄膜发表于 2013-4-4 11:14
你是用什么控制的压强仪的设定看一下

压强仪换了新的还是不行

魅力薄膜 · 发表于 2013-4-5 16:49:01

压控仪的设定看下设定是多少

zyjchj · 发表于 2013-4-5 20:38:11

排气速度变慢了？

ghtzna · 发表于 2013-4-8 13:25:41

漏气了
测漏吧

飛兲寶赑 · 发表于 2013-4-19 18:35:18

LOUYC · 发表于 2013-7-20 17:36:43

ouyuu · 发表于 2013-7-20 23:20:18

抽真空速度变慢了吗？以前测的极限真空能不能达到？
很像是漏气。不过比如说冷阱工作不良也会导致类似情况出现。

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