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情况如下:机台是现代南光的。用于镀手机镜片,温度:80。平时镀膜需要抽到2.5E-3。今天不知道怎么抽到2.0E-2之后,真空度就下不去了。就在2.0E-2附近跳动。想求助下大家这种问题怎么解决?
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请教各位大侠:我在镀完后开真空室门时 发现在SiO2(蒸镀速率8)坩埚附近的防污板上SiO2掉膜(以蔓延扩散的形式掉落呈细小粉末状),遇到这种情况该如何解决,谢谢!
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最近看了坛子里,发现很多人不会提问。
问题不描述清楚的话,有心帮忙也摸不准脉络。
提一个标准的提问格式,大家看怎么样。
第一,发生问题的设备配置:(厂家,型号)
真空系统(分子泵,干泵,旋片泵,罗兹泵,扩散泵,冷阱和低温泵)
镀膜系统(电子枪,离子源,阻蒸,溅射,还有个加热温度)
第二,发生问题的时 ...
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请问镀铝的反射镜加什么保护膜可以防水又耐腐蚀的?
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请教高手,能否给一些详细的参数:比如真空度、加热铝的电流大小和蒸镀时间)、保护膜(SiO)的的电流和时间等参数。
先谢谢了!
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最近一段时间,发现还没镀膜之前,基片已经有细细的点子,而且上下两个面有时候都有,有的时候中间重一些,抽真空和旋转同时进行的情况下,大家有没有见过类似的事情?如何解决??可能跟镀膜机里的哪个系统有关
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初学者可以看看,很烂的
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请问各位大侠:
目前镀膜前清洗可以用纯水慢拉而不用IPA吗?效果到底怎么样?
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现在做个在PMMA上镀AR膜的产品,做4层膜后膜裂的很厉害,有没有能给分析下的,谢谢了。加温70度,加不加离子源都裂。
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光学薄膜设计及Macleod软件使用