求助：镀膜抽不了高真空

情况如下：机台是现代南光的。用于镀手机镜片，温度：80。平时镀膜需要抽到2.5E-3。今天不知道怎么抽到2.0E-2之后，真空度就下不去了。就在2.0E-2附近跳动。想求助下大家这种问题怎么解决？

这种问题太普遍了，既然温度加的不高，肯定是要看漏气的地方了，建议你先关掉高罚，看看保真空怎样，如果不行的话，就说明真空室漏气，看看那些有密封圈的地方吧，一般都是这些地方漏气。

如果是很突然的，可能是机械泵的阀片断了，声音会很大？
这种情况比较多，需要耐心和细仔检查

视窗处有漏气

wdydede 发表于 2013-3-23 22:54
如果是很突然的，可能是机械泵的阀片断了，声音会很大？
这种情况比较多，需要耐心和细仔检查

机械泵的声音还是和以前一个样，没有变大，应该不是这个问题。今天瞎搞了一通，现在抽真空能抽到4.5E-3附近。还是达不到要求。

WYH531 发表于 2013-3-24 00:03
视窗处有漏气

用酒精倒在视窗的周边，真空度没有变化。说明视窗周边没有漏气。

哦，有没有配冷冻机的,另视窗处移动在侧漏。

有时候需注意扩散泵温度是否正常及高真空计是否已坏，另搞清楚正常前后有没动过什么地方

手机镜片是不是塑胶产品。然后你抽到4.5E-3附近花了多少时间？

a774881218 发表于 2013-3-25 17:54
手机镜片是不是塑胶产品。然后你抽到4.5E-3附近花了多少时间？

很长时间，要75分钟，没出问题之前，抽到2.5E-3Z只有40分钟。

机器脏，或是油老化

机器脏。机器箱体热一下除湿气。或者是门密封圈烂了。或者规管坏了。