交替蒸镀材料是否回引起膜内应力曾大呢

如题    我现在做红外宽带增透膜 ，基底是 znse  膜料是znse  yf3  最近试镀几次  都出现了脱膜的现象     层数一共为20层 ，把温度降低 到190 度    离子源降低到5ma  还是出现掉膜  最近听说可能是如我题中说的情况 我想知道 是不是有这个原因在里面   还有温度   以及离子源对膜的应力有多大的影响呢  谢谢   初始温度为220度    望各位朋友帮我解答下    谢了  

离子源阳极电压减小点

zhm1988 发表于 2012-6-15 15:51
离子源阳极电压减小点

谢谢朋友的回答   我想问的是这个阳极电压 对膜的应力有很大的影响吗 ？