MEMS动力学有待解决问题

（1）应用经典力学、量子力学、分子力学及分子动力学方法，从组成MEMS微构件材料的原子或分子间的静电力、阻尼力等各种作用力入手，研究微结构材料的本构关系，微结构的刚度和阻尼。

（2）MEMS的加工工艺根本不同于传统的宏观机械，MEMS的组成与宏观机械有显著差别，因此要借鉴宏观机构运动分析与综合的理论和经验，根据微结构和微系统特点，进行MEMS的综合分析与研究。

（3）在MEMS中，各种作用力的相对关系也会发生相应的改变，对宏观机械系统动力性能的描述有待修正甚至重新建立，这就需要综合考虑粘性力、弹性力、表面张力、静电力、惯性力、电磁力等的影响，根据能量守恒原理建立MEMS动力学方程。

（4）综合应用摄动法、非线性解耦分析算法等方法研究MEMS的运动稳定性、准静态响应以及非线性特性。

（5）应用三维动态软件平台上开发的MEMS动态仿真与优化设计软件，充分考虑相关学科的知识，有效地对MEMS进行动力学建模仿真和整体最优设计。