微型及超微型压力传感器的开发

3.6k 0
发表于 2010-12-9 11:42:44|湖北 | 查看全部 阅读模式
微型及超微型压力传感器的开发.pdf (153.73 KB, 下载次数: 1)

介绍了外径为φ2mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装。改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,科学测试及研究中,尤其在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化。

回复

您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

投诉/建议联系

admin@discuz.vip

未经授权禁止转载,复制和建立镜像,
如有违反,追究法律责任
  • 关注公众号
  • 添加微信客服
Copyright © 2026 光电工程师社区 版权所有 All Rights Reserved. Powered by Discuz! X5.0 Licensed 鄂ICP备17021725号-1
关灯 在本版发帖
扫一扫添加微信客服
返回顶部
快速回复 返回顶部 返回列表