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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 扩散泵油求教

扩散泵油求教

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发表于 2009-5-14 16:15:36|陕西 | 查看全部 阅读模式
我们用的一台老南光机器，加热功率为1500w，我们是按照说明上要求更换电炉丝以后，现在抽气速率慢了一些，会不会因为加热功率大了，扩散泵油分解了？
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zhu1957 Lv.2 发表于 2009-5-14 22:37:22|浙江 | 查看全部
扩散泵工作效益加热功率冷却相关。
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z1206l Lv.9 发表于 2010-5-28 15:52:42|江苏 | 查看全部
加热功率大了，扩散泵油分解了？
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yufe16fisher Lv.8 发表于 2010-5-29 11:39:54|江苏 | 查看全部
把扩散泵烘烤设定温度加点！
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