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扩散泵油求教

火 [复制链接]

发表于 2009-5-14 16:15:36 | 显示全部楼层 |阅读模式

我们用的一台老南光机器，加热功率为1500w，我们是按照说明上要求更换电炉丝以后，现在抽气速率慢了一些，会不会因为加热功率大了，扩散泵油分解了？

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发表于 2009-5-14 22:37:22 | 显示全部楼层

扩散泵工作效益加热功率冷却相关。

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发表于 2010-5-28 15:52:42 | 显示全部楼层

加热功率大了，扩散泵油分解了？

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发表于 2010-5-29 11:39:54 | 显示全部楼层

把扩散泵烘烤设定温度加点！

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