光学TOOLING=光控控制波长÷实际镀出来的波长这个波长怎么理解

xiaojiang007 · *发表于* 2011-5-16 19:27:42

如题里面的波长怎么理解呢

ds1234567 · *发表于* 2011-5-17 06:25:50

本帖最后由 ds1234567 于 2011-5-17 06:27 编辑

送检测量温度一般是20度,而加工时真空室温度通常高于此温,膜层几何厚度d或相位厚度因温度变化小,折射率n变化大,波长的相位差=2nd,温度导致在线测量控制存在误差,这个光学方式控制的误差需要修正,比值小于1是偏薄,大于1是偏厚.

WENJINGREN · *发表于* 2011-5-17 15:06:18

学习学习

a99533126 · *发表于* 2011-6-14 09:25:28

学习学习

逐梦者 · *发表于* 2011-9-15 21:43:01

实际镀出来的波长指的是哪个波长？

Jimmy_tang · *发表于* 2011-9-16 09:53:58

应该是指常温下膜系所对应的适用波长。

yibi11 · *发表于* 2011-9-16 17:13:01

光控控制波长就是你镀膜时单色仪上调的波长，实际镀出来的波长就更简单了，你镀出来是什么波长就是什么波长撒，比如你做532AR，但做出来峰值在550，那550便是你镀出来的波长嘛。。。。

wlinliu · *发表于* 2011-9-16 19:13:07

换一种简单的理解方法：把波长改为厚度，镀出来的厚度要根据光谱图（光谱数据）来算

otxtc · *发表于* 2011-9-17 01:13:35

把等式中的波长改为光学厚度。理解就不用那么费劲了。

Jimmy_tang · *发表于* 2011-9-26 10:18:32

对于我这个半路出家的，波长我理解，光学厚度我不理解啊。。。。

john03062003 · *发表于* 2011-9-28 17:38:45

简单来讲（以单层Mgf2膜为例），你设计的参考中心波长为550nm，走一个四分之一波长的光学厚度，假如镀出来的测试光谱（R%）最低点在580nm，说明你镀厚了，需要把参考波长减小，这样才能使测试光谱的最低点移到550nm处，因此Tooling也就出来了：550/580=?自己去算了哦！

ipshjh2005 · *发表于* 2011-10-10 07:37:43

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