[求助]光刻设备

请教哪里有二手光刻设备??

为什么要二手的呢？
我们这儿从上海买过一台德国淘汰的，花了三、四十万（记不清了）
运来后，不停的出问题，后来就退了

因为新设备太贵！！
我只是想利用微电子的光刻工艺来做光学仪器的度盘和分划板
那位有这方面的经验，是否可以交流一下．

做过光刻，不过很弱
光学仪器，应该是玻璃的或者石英的把

可以与中科院长春光机所应用光学国家重点实验室的李凤友联系，他们的激光直写设备可加工度盘及分划板（兼具极坐标和直角坐标写入功能），最高可刻1μm线条，刻分划板垂直度1μm以下，工艺路线与集成电路制造工艺基本一致。电话：0431-6176917。或者我可以给你做一台（我是该设备制造的三名骨干成员之一，主要研究方向为光刻设备及光刻工艺）：0431-5261907找冯晓国。

我们代理德国激光直写绘图（刻线）系统，最小线宽０．５微米．oman_albert@yahoo.com.cn 　欢迎交流！

albert：

你的激光直写绘图（刻线）系统我感兴趣，可否告知绘图系统绘图面积多大，精度多少。yqwang@nju.edu.cn