MGF2的保護膜

 火...
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发表于 2008-8-26 19:10:38|福建 | 查看全部 阅读模式
最近發現鍍單層MGF2的硬度不夠,大家有沒有發現類似的問題,怎么解決的??除了提高溫度外

回复|共 4 个

zzh1011 Lv.8 发表于 2008-8-26 23:29:51|重庆 | 查看全部
加(IAD)呀!
jingxiaobao Lv.8 发表于 2008-8-28 22:34:30|广东 | 查看全部
温度使用在300度,把真空度再提高一些(如2.0E-3Pa),如果还是不行的话,就要考虑基板是否有清洗干净或者镀膜机的抽速了.
baron 楼主Lv.6 发表于 2008-9-1 18:45:08|福建 | 查看全部
谢谢,我试式看,都没有加保护的吗
chongying Lv.8 发表于 2013-12-25 10:28:02|上海 | 查看全部
改用氧化硅试试看
sio2好象还不如MGF2 
发表于 2014-12-27 01:31
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