Tooling系数问题？

各位大侠:近来试制五层增透，五位比较片，A88(锆钛合金)和MgF2两种膜料，结果发现两层H料的系数不一致，不知原因?请各位不吝赐教我

自己先顶一下

说详细点。有无IAD(离子源），APC（充氧）,
镀膜速率，电子枪束流是否一致。
是用晶控还是光控。

ouyuu 发表于 2014-8-16 18:40
说详细点。有无IAD(离子源），APC（充氧）,
镀膜速率，电子枪束流是否一致。
是用晶控还是光控。

无IAD,光控，充氧和束流一致

AR膜系中，一般每一层的tooling值都不一样，这个跟膜层结构有关。

wm1227 发表于 2014-8-18 08:16
AR膜系中，一般每一层的tooling值都不一样，这个跟膜层结构有关。

tooling值都不一样，按您的经验，差别大吗？会使曲线差太多吗？那么你如何去抓Tooling值呢？

两层H料分别是第几层？ 是每层一个监控片？ 重复性如何？

如果跟膜系结构有关系，那就麻烦了，换个膜系就得重新摸索一遍。
同一材料tooling 大概相差有多少%？

wdydede 发表于 2014-8-18 23:05
tooling值都不一样，按您的经验，差别大吗？会使曲线差太多吗？那么你如何去抓Tooling值呢？

这个就要看具体情况了，你可以把调整好反射的膜系与你的设计值对比下，看下每一层的tooling值差异多少。
差异大的情况下，就要根据你的设计曲线去模拟出你的实际曲线，抓取tooling值。

看楼主的意思好像说的是：五层AR膜，一层膜一个监控片，结果发现两个H膜层的N值不一样（TOOLING不一样）。 个人见解的话，如果是镀膜结果OK，说明这个差别范围是可可接受的，这就说明每层的重复性不一致。这个不一致有很多原因，真空度，充氧量，膜厚度，起始束流，速率，光控的灵敏性等。可以接受的话没必要折腾，AR膜嘛。如果不可接受则要好好从这些些方面找找原因到解决它。

没有晶控？ 光控片的温度多少？
你的H层最薄多厚？ 两个H层Tooling差异有多大？

同一材料不同厚度层的tooling值是不一样的，特别是当两者厚度差别比较大时，tooling值差异就大。