關於PID 鍍率調整

大大們~小弟想請教一下神人今天我在調整鍍率時遇到工程調整一些東西，無奈我問他們他們都不願意告訴我什麼意思，
小弟只好上來問神人們，我司是光馳機台PROCESS設定鍍率PID 今天鍍率不穩定我看見他們調整分別是 PROCESS GAIN、PRIMARY TIME CONSTANT、SYSTEM DEAD TIME
調整好鍍率就好了，請問他們調那些是什麼意思？

增益，时间常数及延迟时间，是描述成膜过程中 速率对功率变化响应的一组参数。
它们不是PID控制参数，但可以通过某种控制模型，转换成PID参数。

在上海膜林科技有限公司的XDM-3K晶控仪中，提供了这种显式转换。用户可以选择PID参数或过程参数任一种。
但在MXC-3K晶控仪中，只用PID参数。

要弄清详情，可以去晶控仪公司网站下载说明书来看。

可以上网查资料学习一下，PID控制（闭路循环控制系统）