旋转镀膜铌靶材加工工艺研究

旋转镀膜铌靶材加工工艺研究
Processing Technology of Spin Coating Process Niobium Target
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2015-7-12 21:32 上传

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作　　者：张国军 汪凯 李桂鹏 任晓
ZHANG Guo-Jun, WANG Kai, LI Gui- Peng, REN Xiao  （Ningxia Orient Tantalum Industry Co. Ltd, shizuishan 755000, China）
机构地区：宁夏东方钽业股份有限公司,宁夏石嘴山753000
出　　处：《材料开发与应用》 2014年第29卷第6期 54-57页,共4页
Development and Application of Materials
基　　金：宁夏东方钽业股份有限公司项目（SJ04-13-1）
摘　　要：研究了靶材不同加工工艺的组织,通过多向锻造,在变形量为80%,热处理工艺为1 050℃×90 min,制得的靶材具有均匀的等轴晶组织,晶粒尺寸40—100μm。
Structures of spin coating niobium target from different processing technologies were studied. The results showed that through muti-direction forging,with the deformation of 80% and heat treatment process of 1050 ℃ × 90 min,the prepared targets have a homogeneous equiaxed structure and a grain size of 40—100 μm.
关键词：旋转镀膜铌靶材 工艺控制 晶粒尺寸
spin coating niobium target ; process control ; grain size ;