关于pecvd镀膜

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发表于 2005-4-4 02:26:00|江苏 | 查看全部 阅读模式
关于pecvd镀膜的厚度、折射率、致密性与工作气流量、工作温度、工作气压即功率之间的关系?   请哪位高手指点一下!谢谢!

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strongsavage Lv.2 发表于 2005-4-20 18:24:00|四川 | 查看全部
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[ 本帖最后由 strongsavage 于 2008-9-3 08:59 编辑 ]

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